Иновативни приступ јонском премазивању на вакуумским машинама

Иновативни приступ јонском премазивању на вакуумским машинама

Иновативна метода вишелучног јонског премаза опреме за вакуумско облагање, такозвана вишелучна јонска облога, је да се материјал који се облаже и подлога која се облаже у просторију. И распршивање мушица на површину обложене подлоге да се кондензује и формира филм.

Метода вишелучног јонског премаза има многе предности у формирању филма под условима, који могу смањити колизију између атома и молекула материјала за испаравање у процесу летења до супстрата и смањити хемијску реакцију између активних молекула у гас и изворни материјал испаравања (као што је оксидација, итд.), и смањују количину молекула гаса који улазе у филм и постају нечистоће током процеса формирања филма, чиме се побољшава густина, чистоћа, брзина таложења и адхезија слоја филма на супстрат.

Процес детекције вакуумског цурења машине за вакуумско облагање

Прво, потребно је потврдити да ли је цурење виртуелно цурење или стварно цурење, јер ће материјал радног предмета генерисати гас у различитим степенима након загревања, што се може погрешно сматрати гасом који улази споља, што је виртуелно цурење , и ова ситуација се мора искључити. .

Друго, тестирајте непропусност вакуумске коморе да бисте били сигурни да непропусност гаса испуњава захтеве.

Треће, проверите величину, облик, локацију и брзину цурења, припремите решење и примените га.

Четврто, одредите минималну стопу цурења која се може детектовати и осетљивост детекције цурења инструмента за детекцију, открити цурење ваздуха у највећем опсегу, избегавати игнорисање неких цурења и побољшати тачност детекције цурења.

Пето, схватите време одзива и време елиминације инструмента за откривање цурења, добро савладајте време и уверите се да инструмент за откривање цурења ради на свом месту. Ако је време кратко, ефекат детекције цурења ће дефинитивно бити лош. Ако је време дуго, гас за детекцију цурења и трошкови електричне енергије за рад ће бити изгубљени.

Шесто, такође је неопходно избећи блокаду отвора за цурење. Понекад због грешака у раду, нека прашина или течности блокирају отвор за цурење током процеса детекције цурења, мислећи да у овом положају нема рупе за цурење, али када су ове блокаде последица разлике у унутрашњим и спољашњим притисцима. Из других разлога, цурење није блокирано, а цурење и даље постоји.

ввв.супербхеатер.цом