Метода чишћења и метода уређаја ултразвучне машине за чишћење монокристалног силицијума

Метода чишћења и метода уређаја ултразвучне машине за чишћење монокристалног силицијума

Са развојем технологије полупроводничких материјала, постављају се и виши захтеви за спецификацију и квалитет силицијумских плочица. Тржишна потражња за силиконским плочицама великог пречника погодним за микро обраду ће све више расти. Полупроводници, чип, интегрисано коло, дизајн, распоред, чип, производња и процес Тренутно се у свету широко користе напредни процеси сечења, брушења, полирања и чистог паковања, што чини значајан напредак у технологији производње. Са увођењем најновије најсавременије технологије, пробна производња и развој чипова високих перформанси као што је СОИ такође су ушли у фазу масовне производње. Као одговор, произвођачи силицијумских плочица су такође повећали своја улагања у опрему за силиконске плочице од 300 мм како би даље прецизирали правила дизајна. Користећи технологију ултразвучног чишћења, током процеса чишћења, ултразвучна фреквенција се креће напред-назад у разумном опсегу, подстичући течност за чишћење да формира суптилни рефлукс, омогућавајући да се прљавштина радног предмета брзо уклони са површине радног предмета док се ултразвучно љушти, побољшавајући чишћење ефикасност.

Начин чишћења и начин уређаја

Поставите опране и млевене силиконске плочице хоризонтално на оквир од кварцне шипке у облику ограде изнад дна резервоара за чишћење. Под условом да у резервоару за чишћење постоји висок ниво дејонизоване воде и континуирани проток, за чишћење користите ултразвучни вибратор који се налази на дну резервоара за чишћење. Ултразвучна фреквенција је 40КХз. Окрените млевене силиконске плочице сваких 5 минута и наставите да перете све док црни загађивачи не изађу са површине млевених силиконских плочица које се перу.

Доњи зид оквира од монокристалног силикона у уређају је кварцна шипка у облику ограде, а цео оквир је ослоњен у резервоару за чишћење помоћу потпорних ногу. Након вертикалног и хоризонталног суперпрања овог проналаска, он решава проблем локалних потешкоћа у чишћењу због неједнаке удаљености између силицијумске плочице и ултразвучног извора, као и лаког нагомилавања загађивача у доњем делу површине силицијума. вафер. Такође елиминише феномен да мека корпа за цвеће направљена од политетрафлуоро материјала који носи силицијумску плочицу може да апсорбује и блокира пренос извора ултразвучног таласа, узрокујући да локална подручја на површини силицијумске плочице буду нечиста.

ввв.супербхеатер.цом