Таложење танких филмова на подлоге методом распршивања вакуумом

Таложење танких филмова на подлоге методом распршивања вакуумом

Распршивање је појава у којој се наелектрисане честице (обично позитивни јони инертног гаса) користе за бомбардовање површине чврсте супстанце (у даљем тексту мета), узрокујући тако да атоми (или молекули) на површини мете побегну из то. Ову појаву је открио Грове 1842. док је експериментално проучавао проблем катодне корозије, када је катодни материјал мигрирао на зид вакуумске цеви. Вакуумска машина за наношење премаза користила је ову методу распршивања за таложење танких филмова на подлогу уведена је 1877.

Класификација и обим примене машине за вакуумско облагање

Обично је метода дегазације радног предмета печење, а гас и влага из радног предмета се испуштају загревањем. Пре премаза, радни предмет се загрева током пумпања. Заједно са гасом у вакуумској комори, испумпава га вакуум пумпа.

Различите мере дегазације се предузимају за различите радне предмете како би се ефикасно контролисала емисија гаса и влаге унутар радног предмета и побољшала стабилност и уједначеност премаза. Класификација и обим примене вакуум машине за премазивање Машина за вакуумско премазивање се углавном односи на тип премаза који треба да се изврши под високим вакуумом, укључујући многе типове, укључујући вакуумско јонско испаравање, магнетронско распршивање, епитаксију МБЕ молекуларног снопа, таложење ПЛД ласерским распршивањем И толико врста.

Вероватноћа машине за вакуумско облагање зависи од физичких особина самог радног предмета

Неки радни предмети у себи имају много гаса, влаге итд. Ове супстанце ће се испуштати у вакуумску комору када се опрема загреје, смањујући степен вакуума. Штавише, неки гасови имају токсичне компоненте, које директно оштећују вакуумску комору. Унутрашња механичка структура узрокује да опрема не функционише исправно. Поред тога, током процеса премазивања, због загревања и ширења гаса у радном предмету, лако је пукнути обложени филм. Наравно, вероватноћа ове ситуације зависи од физичких особина самог радног предмета, као што су пластика која се лако шири, вероватноћа је релативно висока. За тврде материјале као што је метал, вероватноћа је релативно мала, али се не може занемарити, тако да је дегазација радног комада веома неопходна.

Вакуумско стање је окружење које подржава рад машине за вакуумско облагање, посебно опреме која захтева висок степен вакуума. Обично треба да постигнемо висок степен вакуума. Улога система за усисавање ваздуха је незаобилазна, али поред система за усисавање ваздуха, у опреми за вакуумско облагање У процесу рада, још једна тачка је дегазација радног предмета.

ввв.супербхеатер.цом