Електротермална облога цеви Магнетронско распршивање

Електротермална облога цеви Магнетронско распршивање

Магнетронско распршивање је нова врста технологије распршивања која се брзо развила 1970-их. Карактерише га успостављање прстенасте магнетне мете на површини мете катоде за контролу кретања секундарних електрона. Под дејством електромагнетног поља, секундарни електрони генерисани јонским бомбардовањем на површини мете су компримовани близу површине мете за кретање циклотрона, продужавајући растојање до аноде, значајно побољшавајући вероватноћу судара са атомима гаса, и на тај начин побољшавајући брзину прскања . Магнетронско распршивање се тренутно примењује у индустријској производњи. То је зато што је брзина наношења премаза магнетронским распршивањем за ред величине већа од оне код биполарног распршивања, а има предности високе стопе таложења, ниског пораста температуре подлоге и малог оштећења филма. Године 1974. Цхапин је изумео планарну Магнетрон мету за распршивање погодну за индустријску примену, што је промовисало улазак у поље производње.

реактивно прскање

У методи распршивања, ако се од мете направи једињење да би се добио филм једињења, састав произведеног филма генерално значајно одступа од састава циљног једињења. У овом тренутку, активно мешање активног гаса у гас за пражњење може контролисати састав и својства резултујућег танког филма, што се назива методом реактивног распршивања. Углавном се користи за производњу изолационих сложених филмова, а може се постићи коришћењем две методе распршивања: биполарни ДЦ и РФ. Његов стварни уређај се не разликује много од биполарног распршивања и РФ распршивања, осим што поставља два улазна отвора за гас и загрева подлогу на 500Ц у сврху мешања гасова. Распршивање је најлакши метод за контролу састава легуре у технологији физичког таложења паром. Филм од легуре се може депоновати вишециљним распршивањем, и све док се контролишу параметри прскања сваке мете, може се добити одређени састав легираног филма. Филм од легуре се такође може директно прскати коришћењем мете од легуре без икаквих контролних мера, а може се добити филм од легуре са потпуно истим саставом као и циљни материјал. Иако различите компоненте легуре имају значајно различите коефицијенте распрскавања, током процеса распршивања, након одређеног временског периода, компонента са највећом брзином распрскавања даје приоритет распрскавању, а површина циљног материјала ће бити обогаћена другим компонентама до стабилног стања. постиже се површински састав. Коначна добијена композиција филма биће иста као и циљни материјал.

ввв.супербхеатер.цом