Завршетак и гашење пећи од једног кристала:

Завршетак и гашење пећи од једног кристала:

Када се монокристал повуче до репа, почиње крај. Када пречник монокристала достигне Φ10-80мм, зона топљења се раздваја. У овом тренутку, доња осовина наставља да се креће надоле, а горња се мења да се креће нагоре, док снага остаје на 40±10%, полако хладећи кристал. Цзоцхралски уређај за раст монокристала припада техничкој области опреме за раст полупроводника. Укључује хидраулички серво систем за подешавање шипке лонца; у јединици за управљање грејањем, трофазни балансни трансформатор, филтер кондензатор, реактор и отпорник су комбиновани и повезани паралелно са извором хармоника; такође има уређај за пуњење гасом променљиве фреквенције. Овај проналазак превазилази немогућност постојећег погонског уређаја за подизање осовине лончића да ефикасно обезбеди стабилност контроле производње и недовољну тачност, превазилази немогућност постојеће јединице за управљање грејањем да елиминише хармонике, а такође превазилази постојећи погон за подизање осовине лончића. не може ефикасно да гарантује стабилност контроле производње и тачност је недовољна.

Пећ од једног кристала окретање, држање и отпуштање стеге:

Када се пречник проширеног рамена разликује од пречника држања монокристала за 3-20 мм, брзину ширења рамена треба успорити, а раме треба ротирати док се не достигне потребни пречник. Монокристал се одржава. Изодијаметар се одржава на 75 мм-220мм, а монокристал расте. Брзина је 1мм/мин-5мм/мин. Током процеса ширења рамена, када је растојање између пинова држача монокристала на рамену монокристала мања од 2 мм, држач ће се ослободити и монокристал ће бити стегнут;

Рамена експанзије монокристалне пећи и пуњење азотом:

Након раста врата проширите рамена, полако смањите доњу брзину на 3±2мм/мин, истовремено са повећањем пречника проширених рамена, наставите да се смањујете и спустите на 8±4рпм, и полако смањите и повећајте до 1± 0.5 обртаја у минути; Да би се спречила јонизација под високим притиском, одређени део азота се пуни у заштитну атмосферу аргона, а однос мешања азота је 0.01% до 5% оног аргона;

ввв.супербхеатер.цом