Тврдоћа и модул еластичности вакуумских сребрних премаза

Тврдоћа и модул еластичности вакуумских сребрних премаза

С-4800 (Хитацхи, Јапан) скенирајући електронски микроскоп (СЕМ) је коришћен за посматрање структуре лома и морфологије површине ТиЦН филмова, а рендгенски енергетски дисперзивни спектрометар (ЕДС) прикључен на инструмент је коришћен за анализу елемент садржаја филмова. Фазни састав и величина зрна превлаке анализирани су КС'ПертПро (Пхилипс, Холандија) апаратом за рендгенску дифракцију (КСРД). Тврдоћа и модул еластичности премаза су анализирани коришћењем НаноИндентерКСП система за испитивање (Агилент, Америка). Истовремено, метода утискивања и метода гребања коришћени су за процену чврстоће везивања филма и подлоге. Метода утискивања је користила ХР-150тестер тврдоће по Роцквеллу са оптерећењем од 150 кг; метода гребања је користила ХХ-3000 тестер гребања са оптерећењем заустављања од 100Н. Машина за вертикално бушење З5135 коришћена је за спровођење теста сечења на славини. Брзина вретена машине за бушење износила је 530 о/мин, материјал за нарезивање је био каљени и каљени челик од 40Цр, а тврдоћа након гашења и каљења је била ХРЦ29-32.

Вакуумски посребрени брзорезни челик као основни материјал

М2 брзорезни челик је изабран као основни материјал, величина узорка је 6мм × 6мм × 10мм, а за тест сечења је припремљено неколико славина од истог материјала са спецификацијом Φ10мм. Циљни материјали за распршивање су један пар металне мете титанијума (чистоћа 99,99 процената) и графитне мете (чистоћа 99,99 процената), а две врсте мета (4 мете) су наизменично и равномерно распоређене на унутрашњем зиду коморе за облагање. Пре наношења премаза, површина узорка је брушена да би се уклониле макроскопске огреботине видљиве голим оком и полирана до површине огледала. Затим су славина и узорак пескарени да би се уклонила контаминација површинског слоја. Након ултразвучног чишћења, осушена је и уграђена у пећ. Евакуисати на 9,0×10-3Па, претходно загрејати радни предмет 60 минута, а затим употребити ефекат бомбардовања јонима аргона за нагризање и чишћење подлоге под негативним преднагибом током 30 минута. Да би се побољшала чврстоћа везе између танког филма и подлоге, Ти метални прелазни слој се наноси на подлогу помоћу Ти металног блока у лонцу за испаравање. Коначно, под условима притиска од 4,5 × 10-1 Па, ТиЦН танки филмови су припремљени ко-прскањем графитне мете и титанијумске мете током 3 сата. Охладите 1 х након наношења премаза и извадите узорак.

ввв.супербхеатер.цом