Параметри подешавања вакуумског распршивања магнетног распршивања

Параметри подешавања вакуумског распршивања магнетног распршивања

Широка примена опреме за наношење магнетронског распршивања одређена је карактеристикама технологије, које се могу сажети на следећи начин: различити материјали који се могу припремити у мете могу се користити као материјали танког филма, укључујући различите метале, полупроводнике, феромагнетне материјале, као и изолациони оксиди, керамика, полимери итд.

Поред тога, параметри подешавања магнетронског распршивања могу подесити перформансе филма, посебно погодне за премазивање великих површина, а подручје таложења је уједначеније.

Импеданса плазме магнетронског распршивача вакуумског премаза је ниска

Опрема за магнетронско распршивање може припремити различите танке филмове, танке филмове са различитим функцијама, а такође може депоновати мешавине и сложене танке филмове са мешаним компонентама; импеданса плазме магнетронског распршивања је ниска, што резултира великом струјом пражњења, на напону од око 500В Струја пражњења може бити од 1А до 100А (у зависности од дужине катоде); брзина формирања филма је висока, а брзина таложења се може променити од 1нм/с до 10нм/с; конзистентност формирања филма је добра, чак и на катоди дужине неколико метара. У случају прскања, конзистентност слоја филма се и даље може обезбедити; пораст температуре подлоге је низак; енергија распршених честица је око десетине електрон-волти, формирање филма је релативно густо, а основа филма је добро везана.

Температура грејања опреме машине за вакуумско облагање је превисока:

Пошто снага грејача дифузионе пумпе не одговара називној снази, она је превисока, што резултира великом количином паре, што може изазвати повратак уља, а то се може решити заменом жице електричне пећи.

Канал воде за хлађење машине за вакуумско облагање није гладак или притисак воде није довољан:

Као резултат, капацитет хлађења је смањен, горњи део дифузионе пумпе постаје врућ, а уљна пара не може добро да се течни. Решење је да се споји улазна цев дифузионе пумпе са извором ваздуха од 4мпа да би се издувала скала, а излазна цев се такође издувава на 4мпа. Ако је каменац веома дебео и чврст, може се унети разређена хлороводонична киселина. Или замените дифузиону пумпу.

ввв.супербхеатер.цом