Испуштање гаса и чистоћа – Скривени ризик од контаминације

Испуштање гаса и чистоћа: ризик од скривене контаминације

У многим индустријским окружењима, мала количина загађења од грејача кертриџа остаје непријављена. Неколико молекула уљне паре или мало оксидне прашине неће променити процес. Контаминација је катастрофа у вакуумским апликацијама, посебно онима које укључују деликатне површине или материјале са веома ниским нивоом нечистоћа. Један грејач кертриџа може да избаци довољно материјала да оштети целу серију полупроводничких плочица или оштети оптички премаз.

Испуштање гаса је процес ослобађања гасова, водене паре и других испарљивих супстанци које су материјали апсорбовали у вакууму. Из сваке супстанце долази до ослобађања гаса. Стопа зависи од материјала, колику површину има, колико је врућ и колико има вакуума. Површина омотача, изолација од магнезијум оксида, заптивке терминала и изолација оловне жице су све места где грејач кертриџа може да избаци гас.

Изолација од магнезијум оксида у конвенционалном грејачу кертриџа задржава влагу. Ова влага није опасна при нормалном ваздушном притиску. Када је у вакууму, испушта се, што може контаминирати комору и изазвати корозију или цурење струје. Да би се отарасили влаге пре склапања, грејачи улошка за вакуум- користе МгО који је пажљиво обрађен печењем на високој температури под вакуумом. Овај поступак је неопходан за ниске перформансе-испуштања гаса.

Материјал омотача може испуштати гас. Оксиди на површини, уља која се користе за машинску обраду и загађивачи од руковања сви имају улогу. Приликом израде вакуумских кертриџ грејача, они пролазе кроз веома пажљиве операције чишћења, које обично укључују ултразвучно чишћење у одређеним растварачима, а затим печење у вакууму. Одржавање ствари чистим док инсталација не буде лака ако носите чисте рукавице и ставите их у запечаћене контејнере.

Заптивке терминала су чест узрок испуштања гасова. Под вакуумом, органски материјали попут силикона, епоксида или пластичних изолатора испуштају испарљиве хемикалије. Вакумски грејачи кертриџа имају заптивке направљене од керамике, стакла или метала које имају веома ниске стопе испуштања гасова. Ове заптивке могу бити заптивке од керамике-на-металне, стакло{5}}на-металне или компресионе заптивке са металним заптивкама. Ове заптивке коштају више, али су потребне за чисту услугу усисавања.

Друга могућа контаминација је изолација на проводној жици. Неки флуорополимери и обични ПВЦ могу испарити. За апликације у вакууму, боље је користити специјално направљене изолације са ниским-испуштањем гасова или голе металне водове са керамичким изолаторима.

Мери се и записује колико брзо патронски грејач испушта гасове. За тешке послове као што су обрада полупроводника или симулација простора, грејачи ће можда морати да испуне одређене критеријуме за испуштање гасова, попут оних које поставља АСТМ Е595. Овај тест вам говори колико је нешто чисто тако што мери колико је масе изгубљено и колико је испарљивог кондензованог материјала прикупљено.

Једна уобичајена грешка, заснована на искуству, је мишљење да ће грејач кертриџа који добро ради у грубом вакууму исто тако добро радити и у високом вакууму. Како притисак опада, стопа одвајања гаса расте. Грејач који ради на 1 торр можда неће радити испод 10⁻⁶ тора. Важно је ускладити грејач кертриџа са стварним нивоом вакуума апликације.

Укратко, чистоћа и испуштање гасова су веома важни за вакуумске грејаче кертриџа. Сваки део, од МгО изолације преко површине омотача до терминалних заптивки, мора бити одабран и направљен тако да има ниско испуштање гасова. Ако вам је потребан ултра-усисивач, потребно је да користите кертриџ грејаче који су тестирани на испуштање гасова и који имају јасну евиденцију о њиховој обради. Добивање стручног савета осигурава да грејач који одаберете испуњава стандарде чишћења процеса усисавања за који вам је потребан.