Реактивно распршивање за вакуумско полагање електричних грејних цеви се широко користи за таложење сложених филмова
Остави поруку
Реактивно распршивање за вакуумско полагање електричних грејних цеви се широко користи за таложење сложених филмова
Развој савременог површинског инжењеринга све више захтева употребу различитих сложених филмова, а технологија реактивног магнетронског распршивања је један од главних начина депоновања сложених филмова. За таложење сложених филмова са више компоненти, циљни материјал направљен од сложених материјала може се користити за таложење распршивањем, или када се распршују мете од чистог метала или легуре, одређени реактивни гас, као што су кисеоник и азот, може се увести да реагује и депонује једињење филмовима. Ово се зове реактивно распршивање. Обично се мете од чистог метала и реактивни гасови лако добијају високе чистоће, тако да се реактивно распршивање широко користи за таложење сложених филмова.
Предности вакуумске галванизације електричног грејног јонског премаза
предност
висока стопа таложења
густ филм
Добра дифракција, јака способност покривања сложених површина
Предности и недостаци реактивног распршивања за вакуумске галванизоване електричне грејне цеви
(1) Реакција Циљни материјал (мета са једним елементом или мета са више елемената) и реактивни гас (кисеоник, азот, угљоводоник, итд.) који се користи у магнетронском распршивању су високе чистоће, што погодује припреми високе чистоће сложени филмови.
(2) Подешавањем параметара процеса у реактивном магнетронском распршивању, могу се припремити стехиометријски или нестехиометријски једињени филмови, а својства филма могу се регулисати подешавањем састава филма.
(3) Током процеса таложења реактивним магнетронским распршивањем, температура супстрата је релативно мала, а супстрат се обично не захтева да се загрева на високој температури током процеса формирања филма, тако да постоји мање ограничења за материјал супстрата.
(4) Реактивно магнетронско распршивање је погодно за припрему уједначених танких филмова велике површине и може остварити индустријализовану производњу једне машине годишње производње од милиона квадратних метара премаза.
недостатак
Склон циљаном тровању, нестанку аноде и другим проблемима
ввв.супербхеатер.цом
