Структура и својства ТиЦН танких филмова припремљених вакуумским сребрним распршивањем

Структура и својства ТиЦН танких филмова припремљених вакуумским сребрним распршивањем

ТиЦН танки филмови су припремљени на подлогама од брзорезног челика М2 ко-прскањем графитних и титанијумских мета у мешовитој атмосфери азота и аргона. Детектована је тврдоћа ТиЦН танког филма, а метода утискивања и метода гребања су коришћени за процену стања везивања танког филма и супстрата. Тест резања ТиЦН танког филма је спроведен да би се испитала трајност ТиЦН танког филма. Резултати показују да Ц атоми у ТиЦН филму постоје у облику чврстог раствора у ТиН решетки, да је оријентација ТиЦН филма на (111) кристалној равни знатно слабија од оне ТиН филма, а лом ТиЦН филм је дугачка блок структура, а његова бочна димензија је већа од оне код ТиН филма. Филм је мали, а површина ТиЦН филма је неуједначена. Сила везе између ТиЦН филма и подлоге је око 40Н. Ц атоми у ТиЦН филму имају ефекат јачања чврстог раствора и јачања рафинирања зрна. Тврдоћа ТиЦН филма је повећана са 20,3 на 33,4 ГПа ТиН филма. ТиЦН филм има добра својства против трења, а радни век славина за ТиЦН филм када се урезују 40Цр материјал је знатно дужи од оних код славина за ТиН филм и необложених славина.

Припрема ТиЦН танких филмова вакуумским посребрењем чврстог Ц извора

Тренутно, већина ПВД метода користи ЦХ4 или Ц2Х2 као Ц извор за припрему ТиЦН танких филмова. Током процеса припреме, ТиЦН танки филмови са различитим односима садржаја елемената и различитим својствима могу се добити подешавањем односа протока гаса. Међутим, проблем са овом методом је у томе што ће вишак гаса извора угљеника изазвати озбиљно загађење унутрашње структуре тела пећи машине за облагање, а преостали слој угљеника на зиду пећи ће се ослободити током следећег процеса премазивања, што ће ометају атмосферу таложења филма. Континуирана производња је неповољна и често доводи до нестабилних перформанси танкослојних обрадака у индустријској производњи.

ввв.супербхеатер.цом