Технички захтеви за опрему за вакуумско облагање за галванизацију електричних грејних цеви

Технички захтеви за опрему за вакуумско облагање за галванизацију електричних грејних цеви

1. Структура вакуумских цеви и статичких делова за заптивање (прирубнице, заптивни прстенови, итд.) У опреми произвођача вакуумске галванизације треба да испуњава захтеве ГБ/Т6070.

2. Произвођач вакуумске галванизације треба да инсталира мераче вакуума на цевоводе ниског и високог вакуума и комору за вакуумско облагање како би измерио степен вакуума сваког дела. Када се установи да електрично поље омета мерење, на мерном прикључку треба поставити уређај за заштиту електричног поља.

3. Ако је главна пумпа коју користи опрема дифузиона пумпа, на страни улаза за ваздух пумпе треба поставити сифон за уљну пару.

4. Просторија за премазивање опреме треба да буде опремљена прозором за посматрање и преградним уређајем. Прозор за посматрање треба да буде у стању да посматра радно стање извора таложења и других кључних делова.

5. Дизајн извора таложења са јонским облагањем треба да побољша стопу јонизације током процеса наношења премаза што је више могуће, да побољша стопу коришћења материјала за облагање, да у разумној мери одговара снази извора таложења и разумно уреди положај таложења извор у телу вакуум коморе.

6. Уредите уређај за грејање разумно. Генерално, структура и распоред грејача треба да учини пораст температуре обложеног обрадака уједначеним и доследним.

7. Држач радног предмета треба да буде изолован од тела вакуумске коморе, а дизајн држача радног предмета треба да учини слој филма на радном предмету уједначеним.

8. Опрема за јонско облагање генерално треба да има негативну пристрасност радног предмета и напајање за јонско бомбардовање. Напајање за јонско бомбардовање треба да има уређај за сузбијање абнормалног пражњења да би се одржао стабилан рад.

9. Величина изолационог отпора између делова вакуумске коморе повезаних на различите потенцијале је у складу са 4.4.6 у ГБ/Т11164-1999

ввв.супербхеатер.цом