Температура површине машине за вакуумско формирање машине за облагање електронским снопом је пропорционална интензитету електронског снопа

Температура површине машине за вакуумско формирање машине за облагање електронским снопом је пропорционална интензитету електронског снопа

Температура површине филмова и машински обрађених делова је пропорционална интензитету електронског зрака. Интензитет електронског снопа се може контролисати контролисањем струјног тока до филамента, чиме се контролише површинска температура танкослојног материјала и машински обрађених делова.

Машина за вакуумско формирање Машина за облагање електронским снопом треба прво да загреје филамент

Када уређај за облагање електронским снопом ради, филамент прво треба претходно загрејати. Струја предгревања филамента је 60-90А, а време предгревања је више од 20 минута. Након што се филамент загреје, потенцијална енергија електрона у филаменту (катоди) се повећава у припреми за емисију електрона. У овом тренутку, када се укључи напон од 20КВ]ЈИ~ (2), филамент (катода) почиње да емитује електроне под дејством електричног поља. Под комбинованим деловањем система за фокусирање, отклонског калема и напона за убрзање, електрони које емитује филамент (катода) скупљају се у сноп и емитују на филмски материјал или део који се обрађује веома великом брзином.

Мере за побољшање филмског слоја опреме за вакуумско облагање:

(1) Пеците након облагања. Након што је последњи слој филма обложен, немојте одмах престати са печењем и наставите да "темперирате" 10 минута. Учините структуру филма стабилнијом.

(1) Време хлађења се на одговарајући начин продужава и врши се старење жарењем. Смањите термички стрес узрокован прекомерном температурном разликом између унутрашње и спољашње вакум коморе.

(2) Током процеса испаравања филма високе рефлексије и филтер филма, температура подлоге не би требало да буде превисока, а висока температура је лако створити топлотни стрес. И негативно утиче на оптичку стабилност титанијум оксида, тантал оксида и других филмских материјала.

(иии) Процес наношења премаза уз помоћ јона за смањење стреса.

(ив) Изаберите одговарајући систем филма који ће одговарати, подударање између првог слоја филмског материјала и подлоге. (На пример, петослојни антирефлексни филм усваја Ал2О3-ЗрО2-Ал2О3-Ал2О3-ЗрО2-МгФ2; ЗрО2 такође може да користи СВ -5 (мешани филмски материјал ЗрО2 ТиО2) или други мешани филмски материјал са високим индексом преламања.

(В) Одговарајуће смањити брзину испаравања (Ал2О3-2.5А/С; ЗрО2-3А/С; МгФ2-6А/С референтна стопа)

(ви) Сви оксидни филмски материјали су пуњени кисеоником и реактивно обложени, а количина унесеног кисеоника се контролише у складу са различитим филмским материјалима.

ввв.супербхеатер.цом