Машина за вакуумско премазивање мора да се комбинује са различитим пумпама да би радила једна са другом

Машина за вакуумско премазивање мора да се комбинује са различитим пумпама да би радила једна са другом

Приликом избора вакум пумпе, пре свега, обратите пажњу на то да ли вибрације које ствара вакуум пумпа током рада имају утицај на процес и околину. Ако је процес погођен, треба предузети мере против вибрација или изабрати другу вакуум пумпу. Приликом избора, морате знати састав гаса који се пумпа. Ако је потребно селективно пумпање, једна пумпа можда неће бити довољна да испуни захтеве, а различите пумпе се морају комбиновати да би радиле заједно. Ако премаз опреме за вакуумско премазивање не захтева уље, потребно је да изаберете пумпу без уља.

Цена и трошкови одржавања вакум пумпе су такође једна од кључних тачака које разматрамо.

Вакуумско хлађење је неопходно за све изворе (магнетронски, вишелучни, јонски)

Магнетронско реактивно распршивање изолатора изгледа лако, али је стварни рад тежак. Главни проблем је што се реакција дешава не само на површини дела, већ и на аноди, површини вакуумске коморе и површини циљаног извора. Тиме се изазива гашење пожара, лучни извор циља и површине радног комада и тако даље. Технологија двоструког циљаног извора коју је изумео Леиболд у Немачкој веома добро решава овај проблем. Принцип је да су пар циљних извора катода и анода један другом, чиме се елиминише оксидација или нитридација површине аноде. Хлађење је неопходно за све изворе (магнетрон, вишелучни, јони), јер се велики део енергије претвара у топлоту. Ако нема хлађења или је хлађење недовољно, ова топлота ће довести до тога да циљна температура извора достигне више од 1,000 степени и истопи цео циљни извор.

ввв.супербхеатер.цом