Машина за вакуумско облагање користи високофреквентно напајање, а у петљу се додаје јак кондензатор.

Машина за вакуумско облагање користи високофреквентно напајање, а у петљу се додаје јак кондензатор.

Да би се решио овај проблем, измишљено је магнетронско реактивно распршивање. То јест, коришћењем металне мете, додавањем аргона и реактивног гаса као што су азот или кисеоник. Када метална мета удари у део, комбинује се са реактивним гасом и формира нитриде или оксиде због конверзије енергије.

Лако је прскати метале и легуре са магнетронским циљним изворима, а паљење и прскање су погодни. То је зато што мета (катода), плазма и вакуумска комора распршеног дела могу да формирају коло. Али ако прскају изолатори као што је керамика, коло је прекинуто. Дакле, људи користе високофреквентно напајање и додају јак кондензатор у петљу. На овај начин, циљни материјал постаје кондензатор у изолационом колу.

Да би се повећала стопа искоришћења циљног материјала, машина за вакуумско облагање може да користи ротационо магнетно поље

Интеракција између магнетног поља и електрона се користи да би се електрони покренули у облику спирале у близини површине мете, чиме се повећава вероватноћа да електрони ударе у гас аргон да би генерисали јоне. Генерисани јони ударају у површину мете под дејством електричног поља да би избацили мету. У развоју последњих деценија, трајни магнети су постепено усвајани, а магнети завојнице се ретко користе. Без обзира на баланс или неуравнотеженост, ако је магнет непомичан, његове карактеристике магнетног поља одређују да је општа стопа искоришћења циља мања од 30 процената. Да би се повећала стопа искоришћења циљног материјала, може се користити ротационо магнетно поље. Али ротирање магнетног поља захтева ротирајући механизам, а истовремено се смањује брзина прскања.

ввв.супербхеатер.цом