Тестирање и функционалне верификације Троллеи Пећница

У прецизном процесу производње полуводича, пећи су основна опрема, а њихов рад директно утиче на квалитет чипа и ефикасност производње. Да би се осигурало да су пећнице полуводича увек у оптималном радном стању, пажљиво размотрите следећа свеобухватна свакодневна упутства за одржавање.

1. Дубоко чишћење за спречавање ризика за контаминације

Унутрашње чишћење: Након сваке употребе, причекајте да се рерна потпуно охлади, а затим обришите унутрашњост прашином - слободном крпом и наменском чистачу. Производња полуводича захтева изузетно високу стандарде чистоће, па обратите посебну пажњу на углове и пукотине приликом чишћења како бисте спречили да се честице акумулирају и контаминирају чипове. За тврдоглаве мрље, избегавајте оштре пилинг и уместо тога користите благи детерџент да бисте више пута обрисали. Исперите деионизираном водом и темељно сушите након чишћења.

Спољно чишћење: редовно обришите спољну пећницу чистом, влажном крпом да бисте уклонили прашину и мрље. Избегавајте употребу корозивних средстава за чишћење да бисте спречили оштећење спољашњег премаза и компромитују естетику опреме и заштитна својства опреме. Такође, прегледајте околину опреме како би се осигурало да нема акумулације прашине и одржавање добре вентилације.

2 Детаљна инспекција и одржавање кључних компоненти

Систем грејања: Прегледајте недељни елементни елемент за знакове оксидације и оштећења. Ако приметите било какве црне тачке или пукотине на површини грејне цеви, одмах га замените да спречите неравномерно гријање које би могло утицати на сушење чипа. Поред тога, проверите терминале система грејања за лабаве прикључке како би се осигурале стабилне електричне везе и спречити неисправне опасности или безбедности узроковане лошим контактом.

Вентилатор и ваздушни канал: Редовно проверавајте операцију вентилатора, слушајте било какве необичне звукове и прегледајте сечиве вентилатора за деформацију или акумулацију прашине. Акумулација прашине може утицати на ефикасност циркулације врућег ваздуха и довести до неравних температура унутар коморе. Пажљиво очистите сечиве и унутрашњост вентилатора са компримованим ваздухом. Такође, проверите ваздушни канал за несметано проток и уклоните све остатке да бисте осигурали равномерно и ефикасно циркулацију врућег ваздуха у Дому.

Траке за заптивање: Пећнице полуводича захтевају строгу заптивање. Проверите траке за заптивање врата дневно за старење, деформацију или оштећење. Пукотине или губитак еластичности могу довести до нестабилне температуре и влажности унутар коморе и могу чак и да уносе контаминанте. Вратите траке одмах да бисте осигурали добар печат.

ИИИ. Тачна калибрација да се осигура стабилна параметра

Калибрација температуре и влажности: Користите висок - прецизну температуру и сензор влажности да бисте калибрирали унутрашњу температуру и влагу и влажност пећнице. Производња полуводича захтева изузетно високу тачност температуре и влажности, па чак и најмањи одступање може утицати на перформансе чипа. Током калибрације, ако приказане вредности температуре и влажности одступају од стварних вредности изван дозвољеног распона, параметри температуре и влаге, параметри контроле влаге морају се одмах прилагодити, а подаци о калибрацији морају се евидентирати за накнадну анализу и сљедивост.

Инспекција управљања системом: Редовно прегледајте управљачки систем рерне, укључујући компоненте попут регулатора температуре и тајмер, за правилно функционисање. Испитајте осетљивост и тачност сваког управљачког дугмета и приказ да бисте осигурали да оператор може тачно да постави и надгледа параметре оперативних рернера. Ако се открију било какве абнормалности, контактирајте професионалне техничаре брзо за поправак и уклањање погрешака.

ИВ. Стандардизиране разградње и поновно покретање одржавања

Дуго - израз разграђујући: ако је се полуводичка пећница требала прекинути током дужег периода, темељно чисти и осушити унутрашњост и искључити напајање. Да би се спречила прашина и влага да уђете, чврсто покријте пећницу са поклопцем прашине. Повремено се (недељно се препоручује) Повер ИТ за 1 - 2 сата да бисте одржали стабилне перформансе унутрашњих електричних компоненти и спречити кварове због дугорочне неактивности.

Препорука: Пре него што се преиспитате пећницу која је прекинута током дужег периода, темељно прегледава све компоненте. Ово укључује поново чишћење унутрашњости, проверавање електричних прикључака, тестирање система грејања и операције вентилатора, итд. Покрените јединицу у једном оптерећењу током одређеног времена за посматрање да ли су контрола температуре и влажности нормалне. Тек након потврде да не постоје абнормалности, може се ставити у употребу.