Систем за вакуумско наношење магнетног распршивања

Систем за вакуумско наношење магнетног распршивања

У систему за распршивање магнетрона, иза катодне мете се поставља 100-1000 Гаусов снажан магнет, а вакуумска комора је испуњена инертним гасом (Ар) са притиском од 011-10 Па као носачем гаса пражњење. Под дејством високог напона, атоми Ар се јонизују у Ар плус јоне и електроне. У процесу убрзања и летења ка подлози, на електроне утиче магнетно поље окомито на електрично поље, због чега се електрони одбијају и везују у подручју плазме близу површине мете. Он напредује дуж површине мете на циклоидан начин, и судара се са атомима Ар непрекидно током кретања, јонизујући велики број Ар плус јона.

Изузетно висока тврдоћа и отпорност на хабање вакуумског премазача

1. Пошто материјал за облагање на површини има изузетно високу тврдоћу и отпорност на хабање, у поређењу са необложеним цементираним карбидом, обложени цементни карбид омогућава већу брзину резања, чиме се побољшава ефикасност обраде; Значајно побољшати издржљивост алата при истој брзини сечења.

2. Пошто је коефицијент трења између материјала за облагање и материјала који се обрађује мали, сила резања обложеног сечива је смањена до одређене мере у поређењу са необложеним сечивом.

3. Када се обрађено сечиво обрађује, квалитет обрађене површине је бољи.

4. Због добрих свеобухватних перформанси, обложено сечиво има бољу свестраност. Обложено сечиво има широк спектар примена.

Молекуларна пумпа за вакуумско наношење и криопумпа као главна пумпа

Вакум без уља Ксиионг користи молекуларну пумпу и криогену пумпу као главну пумпу, а његове карактеристике су углавном концентрисане у томе што може континуирано да пумпа велику количину ваздуха и може да добије чист ултра-висок вакуум без уља. А систем има брзо време покретања и кратко време заустављања пумпе. Међутим, систем који пумпа тешки гас је бржи од пумпања лаког гаса, а брзина пумпања водене паре је релативно мала. Када велика количина гаса прође кроз пумпу, брзина пумпања ће брзо пасти.

ввв.супербхеатер.цом