Материјал машине за вакуумско премазивање се испарава и транспортује до подлоге за таложење и формирање филма
Остави поруку
Материјал машине за вакуумско премазивање се испарава и транспортује до подлоге за таложење и формирање филма
Облагање вакуумским испаравањем је метода вакуумског премаза загревања и испаравања материјала у вакуумским условима да би се ток испарених честица сублимирао директно на подлогу, и наношење чврстог филма на подлогу, или загревање и испаравање материјала за облагање.
Физички процес је од испаравања и транспорта материјала до подлоге за таложење и формирање филма. Физички процес је: претварање у топлотну енергију помоћу неколико енергетских метода, загревање материјала за облагање да би испарио или сублимирао, и постао гасовите честице са одређеном енергијом ({{0}}.1~0,3еВ) (атоми, молекули или атомске групе); напуштајући површину материјала за облагање, гасовите честице са значајном брзином кретања се транспортују до површине супстрата у правом лету у суштини без судара; гасовите честице које доспеју до површине супстрата кондензују се, стварају језгро и прерасту у филм чврсте фазе; састав Атоми филма преуређују или стварају хемијске везе.
Главни недостаци лучне технологије вакуумског премаза:
- Циљни материјал је ограничен
- Користите само метале (без оксида), што резултира ниским температурама испаравања
- Због велике густине струје, неки циљни материјал се испарава и прска у малим капљицама
Предности лучне технологије вакуумског облагања:
плус висока стопа таложења (~1-3 µм/х)
плус Висока стопа јонизације, формирајући добро везан, густ премаз
плус Циљно хлађење, мање загревање обложеног радног предмета, што омогућава таложење испод 100 степени
плус Може да испари метале различитих састава, а састав преостале чврсте мете остаје непромењен
плус катода се може поставити у било коју позицију (хоризонтална, вертикална, горња и доња), флексибилан дизајн уређаја
Кретање лука машине за вакуумско премазивање
Кретање лука контролише магнетно поље. Плазма коју формирају испарени метални јони ће се таложити на површину радног предмета. Ови радни предмети се ротирају у вакуумској комори. Премаз припремљен луком обично се наноси на површину алата и делова. премазивање.
ввв.супербхеатер.цом
