Које су примене ПТФЕ измењивача топлоте у чишћењу полупроводничких плочица (РЦА Цлеан)?

Конвенционална секвенца чишћења плочице, РЦА цлеан, користи растворе, СЦ1 и СЦ2, на високим температурама за уклањање металних загађивача и честица. Измењивачи топлоте који контролишу ове температуре купатила морају да уведу нулту додатну контаминацију металом или ће то утицати на цео поступак чишћења.

Процедура чишћења РЦА
РЦА процес чишћења је витална фаза у производњи полупроводничких плочица, која укључује два раствора за чишћење, СЦ1 (амонијум хидроксид, водоник пероксид и вода) и СЦ2 (хлороводонична киселина, водоник пероксид и вода). Оба решења функционишу на 70-80 степени и имају различите улоге у уклањању контаминаната:

СЦ1 раствор: Оксидирајући раствор, који се углавном користи за уклањање органских загађивача и честица. Окружење високе температуре гарантује ефикасно чишћење, разграђујући органске остатке и честице које се могу закачити на површини вафла.

СЦ2 решење: Овај раствор се користи за уклањање металних јона са површине плочице. Мешавина хлороводоничне киселине и водоник пероксида обезбеђује хемијску реактивност неопходну за растварање и уклањање металних нечистоћа из плочице, остављајући чисту површину за наредне кораке обраде.

И СЦ1 и СЦ2 решења су веома корозивна и оксидирајућа, стога системи морају бити довољно робусни да издрже таква окружења и да не буду контаминирани измењивачима топлоте који их одржавају топлим.

РЦА чишћење помоћу ПТФЕ измењивача топлоте
Због веома корозивне природе СЦ1 и СЦ2 раствора, измењивачи топлоте који се користе у овој примени морају бити направљени од флуорополимера као што су ПТФЕ или ПФА који обезбеђују изузетну хемијску отпорност. Ови измењивачи се користе за контролу температуре раствора, држећи их у потребном радном опсегу и одржавајући интегритет процеса чишћења.

Спољне рециркулацијске петље: ПТФЕ или ПФА измењивачи топлоте се користе у оквиру спољних рециркулацијских петљи за загревање или хлађење СЦ1 и СЦ2 решења по потреби. Ова техника затворене{3}}петље обезбеђује стабилне температуре раствора без увођења металних јона у раствор из процеса грејања/хлађења.

Инертна својства: ПТФЕ и ПФА размењивачи топлоте су потпуно инертни, стога се јони не испуштају у раствор чак ни на границама детекције делова на трилион у окружењу производње полупроводника. Ово је важно да би се обезбедио интегритет процеса чишћења плочице, где контаминација металом може да изазове значајан губитак приноса уређаја.

У софистицираним фабрикама полупроводника где се буџети контаминације мере у атомима по квадратном центиметру, потребна су решења за{0}}без јона за пренос топлоте. Само измењивачи на бази флуорополимера могу да постигну ове строге стандарде и да обезбеде да се поступак чишћења РЦА обави без додавања нових нечистоћа на површину плочице.

Материал Граде
Само ПТФЕ или ПФА високог степена чистоће треба да се користе у изградњи измењивача топлоте за употребу у полупроводничким апликацијама. Ови материјали испуњавају највише захтеве у погледу хемијске отпорности и чистоће. Никакве честице или јони се не испуштају у купатила за чишћење. Такви флуорополимери који нису-полупроводнички могу садржати нечистоће или загађиваче који могу негативно утицати на процес чишћења.

Закључак
ПТФЕ / ПФА размењивачи топлоте су од виталног значаја за процес чишћења РЦА како би се обезбедила стабилна контрола температуре раствора СЦ1 и СЦ2 без металне контаминације. Ови измењивачи одмах доприносе побољшању приноса уређаја и квалитета производних резултата обезбеђивањем чистоће површине плочице. Како индустрија полупроводника наставља да напредује ка напреднијим технологијама, потреба за материјалима највише чистоће у свим фазама производње, укључујући чишћење плочица, остаје основна потреба за успех.