Који гасови се могу користити у плазми побољшаним пећима за цеви?

Реактивни гасови:
Силане (СИХ ₄): Користи се за депоновање танких филмова на бази силицијума, као што су аморфни силицијум, микрокристални силицијум, силицијум нитрида (си α н ₄) и силицијум оксида (силицон оксид).
Гас амонијака (НХ3): Често се користи у комбинацији са Силанеом за депоновање филмова Силицијум нитрида и пружа извор азота.
Азот (Н ₂): Може се користити као носач гаса или разблаживач гаса и такође може учествовати у реакцији танких филмова као што је силицијум нитрид.
Азотни оксид (н ₂ о) или кисеоник (о ₂): користи се за депоновање силицијум оксида и обезбеђује извор кисеоника.
Метан (ЦХ ₄) или други угљоводоници: користи се за депоновање филмова на бази угљеника, као што су филмови налик на дијамантски угљеник (ДЛЦ).

Инертни гас (носач гаса / разблаживач):
АРГОН (АР): Обично се користи као носач гаса или разређивач који ће помоћи стабилизацији плазме и регулисати делимични притисак реакционог гаса.
Хелијум (ХЕ): Може се користити и као носач гаса и има високу топлотну проводљивост, што помаже у контроли реакционе температуре.

Допинг гас:
Фосфин (пХ α): Користи се за Н-типу Допинг да припреми се полуводичке танке филмове Н-типа.
Боран (Б ₂ Х ₆): Користи се за допинг П-типа и припрема пориводалних филмова у типу П-типа.
Борон Трифлуориде (БФ α): Може се користити и као П-тип допинг извор.

Остали специјални гасови:
Хидроген (Х ₂): Обично се користи у смањењу реакција или у комбинацији са Силаном како би се регулисала стопа одлагања и својства танких филмова.
Сумпор Хекафлуориде (СФ ₆): Користи се у одређеним посебним процесима за јештено или површински третман.

Чимбеници који утичу на избор гаса:
Тип филма: Изаберите одговарајући реактивни гас на основу потребног депоносаног филмског материјала (као што је Сио ₂, СИ α н ₄, ДЛЦ итд.).
Захтеви за допинг: за припрему П-типа или Н-типа полуводичка танких филмова, потребно је увести одговарајуће допинг гасове.
Услови процеса: параметри као што су проток протока гаса, пропорција и притисак могу утицати на стопу танке, квалитета и перформансе танких филмова.
Безбедност: одређени гасови, као што су Силане и фосфин, запаљиви су, експлозивни или токсични и захтевају строгу придржавање безбедносних оперативних поступака.

Пример практичног примене:
Тамин филм танких филма силицијумног нитрида: уносе се обично, Силане (СИХ ₄) и амонијак (НХ3), а понекад се дода азот (Н ₂) или АРГОН (АР) као носач гаса.
Танки филмови о танким филмовима силиконских оксида: уносе се типично, Силане (СИХ ₄) и уводе се азотни оксид (Н ₂ о) или кисеоник (О ₂).
Таложење ДЛЦ филма: обично се уводе метани (ЦХ ₄) и водоник (Х ₂), а понекад се додаје аргон (АР) као носач гаса.