Зашто су ПТФЕ грејачи специфицирани за резервоаре за испирање топле ДИ воде у фабрикама полупроводника?

Контаминација металом у деловима-на-трилион нивоа може да уништи приносе уређаја у производњи полупроводника. Испирање топлом дејонизованом водом је уобичајено и сваки грејач у додиру са овом водом не сме да садржи метале који могу да се излуже. ПТФЕ грејачи могу да испуне ове ригорозне критеријуме.

Израда полупроводника у топлој води
Врућа дејонизована вода се користи у фабрикама полупроводника за низ важних поступака чишћења, укључујући чишћење плочица, уклањање отпорности и опште испирање. Вода стално ре-кружи кроз систем и има висок отпор од 18 мегаома-центиметара (МΩ-цм) на 25 степени. Ово гарантује да је вода ултра чиста, критична за избегавање контаминације током производног процеса за полупроводнике.

ДИ вода се обично одржава на температури од 70-90 степени ради ефикасног уклањања загађивача и оптимизације процеса чишћења. Овај температурни опсег је важан за најбољу обраду вафла и добија се уз помоћ специјализованих грејача.

Грејалице обложене металом{0}: ризик од контаминације
Многе индустријске апликације за грејање користе металне{0}}грејаче са омотачем као што су нерђајући челик или Инцолои. Они представљају озбиљну опасност у апликацијама високе{2}}чистоће као што је производња полупроводника. Јони у траговима (нпр. гвожђе, никл, хром) се током времена испирају у ДИ воду из металних грејача. Ови метални јони могу оштетити квалитет воде и контаминирати је у веома малим количинама. Ова контаминација може значајно утицати на квалитет плочице, смањујући приносе уређаја и захтевајући чешћу замену слоја смоле да би се повратила чистоћа воде.

Да би се избегли ови проблеми, материјали који се користе за стварање грејача у додиру са ултра чистом ДИ водом не би требало да уносе никакве загађиваче у воду.

Разлози за спецификацију ПТФЕ грејача
Резервоари за испирање топле ДИ воде у полупроводничким фабрикама су специфицирани са ПТФЕ (политетрафлуороетилен) грејачима због њихове одличне хемијске отпорности и инертности. ПТФЕ нема садржај метала и стога неће испирати металне јоне у воду, гарантујући да вода остаје ултра чиста. Ово је важно за одржавање високе отпорности воде која је потребна за производњу полупроводника.

ПТФЕ грејачи су толерантни на опсеге радне температуре од 70-90 степени, што их чини добрим за ову примену. ПФА (перфлуороалкокси) се понекад користи уместо ПТФЕ када је потребна још боља чистоћа или толеранција температуре. ПФА може да издржи више температуре док и даље одржава интегритет материјала.

Једна од примарних предности ПТФЕ-а у резервоарима за испирање воде са ДИ је његова дугорочна{0}}стабилност. ПТФЕ нема проблема са контаминацијом, тако да не захтева периодично одржавање или замену као метални грејачи. Ово обезбеђује константније и поузданије перформансе у условима високе чистоће, штедећи оперативне трошкове током времена.

Техничка разматрања за ПТФЕ грејаче
За производњу полупроводника, отпорност ДИ воде мора да се одржава на 18 МΩ-цм на 25 степени да би била заиста ултра чиста. ПТФЕ грејачи су једини материјали омотача грејача којима је дозвољено да буду у директном контакту са ултра чистом водом за ове захтевне примене. Густина грејача у ватима мора бити довољно конзервативна да избегне било какво локализовано кључање или производњу честица. Ово помаже да се избегну вруће тачке које могу довести до нежељене контаминације или физичког оштећења система воде.

Границе спецификације чистоће за контаминацију металом
Границе за контаминацију метала су веома ниске у апликацијама полупроводника високе чистоће. На пример, ниво контаминације би требало да буде мањи од 1 ппб (делова на милијарду) јона гвожђа, никла или других метала у ДИ води. ПТФЕ грејачи су направљени од 100% не-материјала и идеално су прилагођени да задовоље ове ригорозне захтеве чистоће.

Резиме
У производњи полупроводника, квалитет ултра чисте воде се одржава помоћу ПТФЕ грејача тако да се јони метала не испуштају у воду током процеса чишћења. Избор материјала за апликације високе чистоће, као што су полупроводничке фабрике, мотивисан је потребом да се контролише контаминација. ПТФЕ грејачи су посебно дизајнирани за ове захтевне захтеве и пружају поуздану опцију за загревање ДИ воде без утицаја на квалитет воде или приносе уређаја.