Плоча за подешавање за машину за вакуумско облагање

Плоча за подешавање за машину за вакуумско облагање

Према теорији дистрибуције дебљине филма, уједначеност дебљине филма између супстрата може се побољшати додавањем плоча за подешавање у комори за испаравање, како би се побољшао принос и испунили захтеви масовне производње.

У процесу пројектовања плоче за подешавање, угаона грешка испаравања материјала се занемарује, а дебљина филма Т је повезана само са углом испаравања θ. Додавањем плоча за подешавање може се променити разлика у дистрибуцији филма узрокована различитим угловима испаравања. Финализација плоче за подешавање је исправљена и финализована стварним производним подацима.

Решавање проблема са машином за вакуумско премазивање

Када опрема за вакуумско облагање ради нормално, цев прекидача у колу главног прекидача је у засићеном проводљивом стању, пад напона цеви се одржава на око 100В, мрежа добија позитиван преднапон од 50В, а високи напон указује на 6кВ (или 10кВ). Сигнал контроле напона добијен из кола детекције Р21 није довољан да се цев регулатора напона Д13 поквари и спроведе, БГ14, БГ15, БГ16 су у искљученом стању, док су БГ11, БГ12, БГ13 у укљученом стању, а БГ11 даје 2.5В или тако висок потенцијал. БГ10 на комутационом колу напона капије добија контролни сигнал напона од 2,5В и налази се у проводном стању, тако да основни потенцијал БГ9 постаје 0 потенцијал и искључује се, а цев главног прекидача добија преднапон напон од 50В кроз Д6 и Д7. Истовремено, БГ7 и БГ8 су такође у стању проводљивости, а цев регулатора напона Д8 се квари и проводи, обезбеђујући константну струју до капије цеви главног прекидача. Пошто је БГ10 у проводљивом стању, база БГ4 контролног кола завесне мреже је на 0 потенцијалу и искључена је, а величина напона мреже завесе контролише се сигналом високонапонског разделника УР2. Када УР2

ввв.супербхеатер.цом