Минијатуризација сензора и чип технологија

Микро-електромеханички систем (МЕМС) је микро-систем или уређај који интегрише микро-сензоре, микро-актуаторе, контролне кругове, обраду сигнала, комуникацију, интерфејсе, напајање итд. То је технологија за пројектовање, прераду, производњу, мерење и контрола микро / нано материјала.

МЕМС технологија укључује: технологија микромохинирања силицијума, дубоко реактивно ионско ионско ионско, технологија молекуларне молекуларне молекуларне молекула, површински микроматининг, површински микромацхининг, ласерско микрокомхинирање и микро-паковање технологије.

Технологија микромохинга Силицон је главна технологија МЕМ-а. То је прецизна технологија тродимензионалне прераде. То је технологија за развој сензора, микро-актуатора, микро-актуатора и микро-механичких система. Успешно је коришћен за производњу различитих микро-сензора и мултифункционалних низова осетљивих елемената. Попут микро-силицијума капацитивних сензора, микро-силицијум сензори протока масе, динамички сензори и микро-сензори за ваздухопловство, сензори за аутомобил и сензори за притисак и убрзање, заштита животне средине микро-хемијски сензори итд.

Интеграција Технологија сензорских низова и композитима са више осјећаја параметара

Интеграција се односи на интеграцију вишеструких функција осетљивих сензора са обрадом података, складиштењем, двосмерном комуникацијом итд. Као што је притисак, статички притисак, температура тро-променљивих сензора; притисак ваздуха, сила ветра, температура, влажност четворо променљиве сензора; Мицро Силицон Цомпосите Сјензор притиска и сензор притиска и сл, итд., Све технологије интеграције користе интеграцију. Процес интеграције и више-променљиви композитни сензорски процес интегрисаног производње, као што су притисак, статички притисак, температура три-променљива сензор, притисак на високу температуру, ветровито, температура, влажност четворо-променљиви сензор притиска, микрофон сензорски сензор притиска микрофона.

Постоје две врсте сензорских интеграција: Једна је изградња више сензорских модула на чипу кроз технологију микро обраде за формирање линеарног сензора (као што је сензор слике ЦЦД); Други је да се осетљиве компоненте учини различитим функцијама на истом силицијумском чипу како би се интегрисали мултифункционални сензор са високом интеграцијом, мале величине и лако надокнаде и корекције.