Вакуумска галванизација електричне грејне цеви тротемпературна метода испаравања

Вакуумска галванизација електричне грејне цеви тротемпературна метода испаравања

У принципу, метода са три температуре је метода испаравања извора двоструког испаравања. Међутим, својства једињења групе ИИИ до В се разликују од особина легура, а користе се и за израду монокристалних превлака. Стога се технички разликује од методе таложења паром са два извора испаравања. Генерално, притисци паре два метала који чине легуру нису много различити. На пример, на 1000К, притисак паре Цо, Фе, Ни је око 10^-10Па, Цр је 10^-9Па, Пд је 10^-8Па, Ал , Бе, Цу, Сн су 10^-6Па, Аг је 10 ^-4Па.

Напротив, у једињењима групе ИИИ~В, притисак паре елемента групе В је много већи него код елемента групе ИИИ јер се нискотемпературна вредност притиска паре елемента ИИИ групе не може мерити. Стога се процењује из вредности притиска паре на високој температури.

Уређај за облагање електричних грејних цеви за вакуум галванизацију

грејач; 2-супстрат; 3-грејач; 4-отвор за увођење ваздуха; 5-боца са кисеоником; 6-подесиви вентил за цурење; 7-зауставни вентил; 8-СиО2; 9-НА2О

Већина пумпних система вакуумске опреме која се користи у методи реактивног испаравања користи пумпе за дифузију уља. Због састава и кристалне структуре резултујућег премаза, он варира са притиском атмосферског гаса, брзином испаравања молекула из извора испаравања и температуром супстрата. Због тога се морају предузети мере да се ове количине подесе.

Метода реакције испаравања помоћу вакуумске галванизације електричне цеви за грејање

Метода увођења активног гаса у вакуумску комору за облагање кроз хемијску реакцију између атома (молекула) активног гаса и атома испарених из извора испаравања да би се створила превлака једињења назива се метода реактивног испаравања. Реакција се може одвијати или у гасовитом простору, на површини супстрата или обоје. Међу њима, реакција се углавном одвија на подлози. Напредак реакције обично је повезан са факторима као што су парцијални притисак реакционог гаса, температура испаравања, брзина испаравања и температура супстрата, а добијени премаз може бити легура метала или једињење. Тренутно, овај метод се широко користи у припреми изолационих једињења филмова.

ввв.супербхеатер.цом